成年aV网站18不禁,国产成人αv一区二区三区四区,亚洲色婷婷婷婷婷在线观看

量測(cè) AI Metrology

首頁(yè)>產(chǎn)品與解決方案>產(chǎn)品>量測(cè) AI Metrology

產(chǎn)品概述

量測(cè)是晶圓廠工藝控制的一個(gè)重要手段，通過(guò)對(duì)產(chǎn)品的主要生產(chǎn)階段的關(guān)鍵參數(shù)的測(cè)量來(lái)確定產(chǎn)品是否符合設(shè)計(jì)要求，來(lái)確保最終的良率符合要求。同時(shí)通過(guò)量測(cè)，可以了解到目前存在的問(wèn)題，及時(shí)反饋進(jìn)行工藝調(diào)整實(shí)現(xiàn)最終產(chǎn)品的高良率。常見(jiàn)的量測(cè)有厚度，尺寸等，比如電路的關(guān)鍵尺寸（CD），通常報(bào)道的14nm，7nm工藝就是指核心基本單元MOS管的柵極寬度尺寸。

而量測(cè)通常也是以圖像的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)，比如尺寸測(cè)量需要先對(duì)電路圖進(jìn)行SEM成像后測(cè)量，然后對(duì)數(shù)據(jù)以map圖的形式呈現(xiàn)。目前傳統(tǒng)的量測(cè)方法有幾個(gè)缺點(diǎn)：

量測(cè)前不對(duì)圖像質(zhì)量進(jìn)行把關(guān)。――對(duì)模糊的圖像進(jìn)行測(cè)量會(huì)導(dǎo)致結(jié)果失真，誤導(dǎo)工藝調(diào)整優(yōu)化方向。

量測(cè)結(jié)果解讀誤差大―― 有一些量測(cè)結(jié)果是需要人去解讀，由于人的不穩(wěn)定性，導(dǎo)致不同人或不同時(shí)間解讀同一結(jié)果有很大的誤差。

量測(cè)結(jié)果不能復(fù)用 ――目前的自動(dòng)化量測(cè)設(shè)備拍攝完照片后，只能對(duì)預(yù)先設(shè)定好的圖形目標(biāo)進(jìn)行量測(cè)。事后是無(wú)法再對(duì)其他目標(biāo)進(jìn)行量測(cè)，造成信息大量的浪費(fèi)。

而我司的AI Metrology產(chǎn)品是利用將缺陷圖片進(jìn)行復(fù)用，在進(jìn)行完缺陷分類后，進(jìn)一步利用進(jìn)行電路尺寸測(cè)量，可以有效解決上述問(wèn)題。其主要功能包括：圖片的讀取、測(cè)量點(diǎn)的確認(rèn)、圖片處理、電路尺寸測(cè)量等功能模塊。

優(yōu)勢(shì)描述

AI Metrology產(chǎn)品利用計(jì)算機(jī)視覺(jué)技術(shù)可以對(duì)圖像質(zhì)量進(jìn)行評(píng)估，剔除不合格圖像，確保量測(cè)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確可靠。

AI Metrology產(chǎn)品利用計(jì)算機(jī)識(shí)別的結(jié)果不受人和時(shí)間的影響，一旦設(shè)定成功，結(jié)果穩(wěn)定可靠。

AI Metrology產(chǎn)品獨(dú)立于量測(cè)機(jī)臺(tái)，可對(duì)圖像的量測(cè)目標(biāo)隨時(shí)更改進(jìn)行測(cè)量，大大增加靈活性。打個(gè)比方，按照經(jīng)驗(yàn)采集圖片后對(duì)某一目標(biāo)進(jìn)行量測(cè)，但事后發(fā)現(xiàn)出現(xiàn)了新問(wèn)題是由采集的圖片的另一目標(biāo)引起的，為了確保到底有多少已生產(chǎn)的產(chǎn)品有問(wèn)題，需要對(duì)此新目標(biāo)進(jìn)行量測(cè)。但由于此時(shí)大部分產(chǎn)品已經(jīng)不在問(wèn)題站點(diǎn)，無(wú)法重新測(cè)量，所以只能等最后的測(cè)試結(jié)果，造成良率大幅下降，未能及時(shí)報(bào)廢止損也導(dǎo)致成本升高。但利用AI技術(shù)，只要當(dāng)時(shí)該站點(diǎn)的量測(cè)數(shù)據(jù)依然存在，我們就能離線進(jìn)行重新更改目標(biāo)圖形測(cè)量，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)信息的最大化利用。

價(jià)值點(diǎn)

1

減少設(shè)備投入

一般5萬(wàn)產(chǎn)能的fab，需要采購(gòu)大概10臺(tái)左右的CD SEM 設(shè)備，需要耗費(fèi)幾千萬(wàn)美金。使用AI 的話，可以采用高吞吐量的review SEM + AI 量測(cè)軟件的方式，從而節(jié)省CD SEM 投入約30%以上，近千萬(wàn)美元的投入減少。
2

避免無(wú)效數(shù)據(jù)的產(chǎn)生

量測(cè)前數(shù)據(jù)處理或篩選可以避免無(wú)效數(shù)據(jù)的產(chǎn)生，也可以節(jié)約10%的量測(cè)需求，年收益在100萬(wàn)美金以上（以CD-SEM 5年折舊計(jì)算）。
3

避免后期更改量測(cè)目標(biāo)的重測(cè)操作

數(shù)據(jù)復(fù)用，可以避免后期更改量測(cè)目標(biāo)的重測(cè)操作，也可帶來(lái)20%左右的量測(cè)需求減少。年收益在200萬(wàn)美元左右（CD-SEM 5年折舊計(jì)算）。
4

快速進(jìn)行結(jié)果反饋

數(shù)據(jù)復(fù)用，同時(shí)可以快速進(jìn)行結(jié)果反饋，帶來(lái)的良率收益，每年預(yù)估在千萬(wàn)美元以上。